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| 부설 기관 | |||
| 고등과학원 | 나노종합기술원 | ||
| 나노종합기술원 National NanoFab Center | |
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| 설립 | 2004년 5월 4일 |
| 위치 | 대전광역시 유성구 대학로 291 (한국과학기술원) |
| 웹사이트 | |
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1. 개요
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| KAIST 부설 나노종합기술원 |
| 나노종합기술원 홍보영상 |
정부는 대통령령으로 정하는 바에 따라 산업계ㆍ학계 및 연구계의 나노기술 관련 연구개발 시설ㆍ장비의 공동활용, 전문인력의 양성, 연구성과의 실용화 및 기업의 창업 지원 등의 기능을 수행할 수 있도록 나노팹센터를 구축ㆍ운영한다
나노기술개발촉진법 제11조 2항
나노기술개발촉진법 제11조 2항
한국과학기술원(KAIST) 부설 나노종합기술원은 시설·장비의 공동활용을 통한 연구개발지원, 연구성과의 실용화 및 중소, 벤처기업의 창업지원을 위해 설치된 나노인프라기관이다. 영어 약자는 NNFC를 사용한다. KAIST 본원[1]에 위치한다.
2002년 나노종합fab시설 구축사업에서 유치기관으로 KAIST가 선정되어 2004년 나노종합팹센터가 설립되었다. 2013년 명칭을 나노종합기술원으로 변경했다. 2019년에는 국가연구시설로 지정되었다.
2. 기능 및 성과
나노기술관련 연구개발 시설 장비의 공동·활용 지원을 통해 산업계/학계/연구계를 지원하고있다. 나노 기술 관련 장비가 수천만원에서 수십억을 호가하는 만큼, 이를 보유하기 어려운 연구자들의 장비 이용을 돕고 있다.3. 시설 및 장비
연구동, FAB동, 시설지원동으로 건물이 구성되어있다. 나노공정, 나노센서 및 구조소재, 나노바이오, 분석 및 특성평가를 위한 380여 대의 장비를 운용하고 있다.한일 무역 분쟁 이후 450억원을 지원받아 2021년 12인치 반도체 테스트베드를 구축하여 연구계, 산업계에서 이용할 수 있도록 서비스를 제공하고 있다. # 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라이다.
4. 여담
- 나노종합팹센터구축사업은 KAIST, 성균관대학교, 포항공과대학교, KIST 등 6개 기관의 경쟁 끝에 유치기관이 KAIST로 선정되었다. # 당시 나노 분야가 국가전략기술분야로 선정되고[2], 지역경제 1조 파급효과가 예상되는[3] 등 9년간 2천억원의 대규모 예산이 사용되는 사업이라 경쟁이 매우 치열했다는 후문이다. 선정 결과에 당시 유력했다고 알려졌었던 성균관대가 위치한 경기도는 심히 유감을 표시하였다.
- 9층에 대전창조경제혁신센터가 위치하고 있다.
- 건물 내에 KAIST 전기및전자공학부 일부 교수 연구실과 랩이 위치하고 있다.